| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科旋轉式多傳感器
日本ULVAC愛發科旋轉式多傳感器
特征
可安裝 5 或 6 MHz 6 片 AT 切割晶體。
采用真空電機的du 創驅動系統實現了高可靠性。
水晶的更換可以與水晶支架一起拆卸。
如果檢測到晶體故障（異常振蕩），則通過控制器 （CRTM） 的信號自動切換到下一個晶體。
傳感器頭體積?。ㄖ睆?50 毫米），可以靈活地安裝在蒸發沉積設備中。
用于光學、OrganicEL、電氣器件的高速、多層沉積控制。
| 傳感器頭 | |
| 搭載的水晶編號 | 6 件 |
| 晶體容量 | 4MHz、5MHz 或 6MHz（可選）AT 切割晶體 |
| 耐熱溫度 | 350°C |
| 冷卻水量 | 1升/分鐘 |
| 重量 | 1 千克 |
| 尺寸 | φ50mm x 高 89mm |
| 控制器 | |
| 數字輸入 | INIT、CNT、STOP |
| 數字輸出 | 傳感器編號、BUSY、ERROR、RETRY、END |
| 效用 | DC24V，3.0A |
| 尺寸 W×D×H | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
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