| 品牌 | ULVAC/日本愛發科 | 應用領域 | 環保,化工,電子/電池,綜合 |
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日本ULVAC愛發科擺閥
日本ULVAC愛發科擺閥
特征
由于愛發科du 特的壓差機構，愛發科 VFR 擺閥在正常工作條件下最大限度地減少了顆粒、閥門磨損和振動。
閥殼很容易拆卸，無需從真空系統或泵上拆下閥門。拆下閥殼后，只需挑選一個螺栓即可拆下閥板，閥門易于維護。
ULVAC “Model：VFR" 閥可以安裝在真空系統的任何位置。自由旋轉和安裝角度靈活（360 度）。
大型顯示器制造系統
OLED 制造系統
其他真空系統，用作主閥和閘閥
| 型 | VFR-400型 | VFR-500 系列 | |
| 常用端口直徑 | Φ400毫米 | Φ500毫米 | |
| 法蘭規格（相當于 JIS B2290） | VF400 系列 | VF500 系列 | |
| 開/關規格 | 2 個位置 | ||
| 開/關作原理 | 氣動 | ||
| 開盤/關門時間 | 8秒 | 12秒 | |
| 閥板密封 | 支持反向壓力 | ||
| 最大閥板密封壓差 （正壓時） | 0.12 MPa | ||
| 最大閥板密封壓差 （反向壓力下） | 0.12 MPa | ||
| 開/關時的最大壓差 （正壓下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 打開/關閉時的最大壓差 （反向壓力下） | 0.5 千帕斯卡 | ||
| 開路 Conductance | 50000升/秒 | 90000 升/秒 | |
| 壓力范圍 | 1.0×10-5Pa~0.12MPa（絕對壓力） | ||
| 允許烘烤溫度 （停止位置） | 閥體 | < 120°C （248°F） | |
| 圓柱體 | < 80°C （176F） | ||
| 允許環境溫度 | 10 至 80°C（50 至 176F） | ||
| 允許氣體溫度 | 10 至 80°C（50 至 176F） | ||
| 壓縮空氣壓力 | 0.50 至 0.70MPaG （72.5 至 101.5psi，5.0 至 7.0bar） | ||
| 壓縮空氣供應端口 | Φ8 管接頭 | ||
| 維護周期 | 100,000 | ||
| 銑削角度 | 自由 | ||
| 主要零部件材料 | 閥體 | AC4CH-T6 系列 | |
| 密封板 | AC4CH-T6 系列 | ||
| 密封材料 | 真空側 | FPM | |
| 油 | Z300 系列 | ||
| 重量 | 98 公斤 | 155 公斤 | |
| 翼緣到翼緣尺寸 | 150 毫米 | 170 毫米 | |
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